摘 要：為了實(shí)現(xiàn)對(duì)高阻計(jì)/靜電計(jì)準(zhǔn)確、可靠的校準(zhǔn)/檢定，特建立高阻計(jì)/靜電計(jì)檢定裝置。該檢定裝置由KEITHLEY 263校準(zhǔn)儀/源組成，采用直接測(cè)量法進(jìn)行校準(zhǔn)/檢定工作。通過(guò)對(duì)其測(cè)量不確定度進(jìn)行詳細(xì)評(píng)定，證明高阻計(jì)/靜電計(jì)檢定裝置可圓滿(mǎn)地實(shí)現(xiàn)對(duì)KEITHLEY 6517A等高精密靜電計(jì)/高阻計(jì)的校準(zhǔn)/檢定，從而大大增強(qiáng)了電磁學(xué)計(jì)量領(lǐng)域高值電阻和微電流等參數(shù)的測(cè)試能力。
