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概述 臺(tái)灣工業(yè)研究院的一個(gè)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室正在進(jìn)行改進(jìn) 6MB SRAM 和 DRAM IC 生產(chǎn)工藝的研究。它們的工藝采用化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系

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